(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221086150.5 (22)申请日 2022.05.07 (73)专利权人 常州威登电子设备有限公司 地址 213000 江苏省常州市新北区春江镇 春园路2号 (72)发明人 蒋建军　 (74)专利代理 机构 常州万为知识产权代理事务 所(普通合伙) 32441 专利代理师 王杰 (51)Int.Cl. B01D 46/10(2006.01) B01D 46/48(2006.01) B01D 47/06(2006.01) B01D 50/60(2022.01) C23F 1/08(2006.01) (54)实用新型名称 蚀刻机粉末收集装置 (57)摘要 本实用新型涉及蚀刻机领域， 且公开了蚀刻 机粉末收集装置， 包括收集箱， 所述收集箱的内 底壁活动连接有集污盘， 所述集污盘的内底壁固 定连接有集尘箱， 所述集尘箱的顶端活动连接有 防尘网， 所述防尘网的中间位置处开设有落灰 口， 所述收集箱一侧的上端固定连接有进尘管， 所述收集箱的内顶壁固定连接有喷淋管， 所述喷 淋管的底端固定连接有雾化喷头。 该蚀刻机粉末 收集装置， 通过外部设备将水输送至喷淋管的内 部， 并通过雾化喷头将水进行雾化喷出， 使得收 集箱内部的粉尘进行喷淋沉降， 同时通过刮板的 移动， 将防尘网顶端的泥球推动， 并由落灰口掉 落至集尘箱内部， 进而通过喷淋雾化可使得粉尘 凝结， 避免收集的粉尘过于蓬松， 提高粉末收集 的效果。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217646039 U 2022.10.25 CN 217646039 U 1.蚀刻机粉末收集装置， 包括收集箱 （14） ， 其特征在于： 所述收集箱 （14） 的内底壁活动 连接有集污盘 （9） ， 所述集污盘 （9） 的内底壁固定连接有集尘箱 （7） ， 所述集尘箱 （7） 的顶端 活动连接有防尘网 （11） ， 所述防尘网 （11） 的中间位置处开设有落灰口 （10） ， 所述收集箱 （14） 两侧的下端固定连接有负压风机 （5） ， 所述 收集箱 （14） 一侧的上端固定连接有进尘管 （2） ； 所述收集箱 （14） 的内顶壁 固定连接有喷淋管 （15） ， 所述喷淋管 （15） 的底端固定连接有 雾化喷头 （1） ， 所述收集箱 （14） 的内侧壁固定连接有导尘板 （13） ， 所述收集箱 （14） 的两侧固 定连接有气动伸缩杆 （3） ， 所述气动伸缩杆 （3） 输出端延伸至收集箱 （14） 的内部并固定连接 有刮板 （12） 。 2.根据权利要求1所述的蚀刻机粉末收集装置， 其特征在于： 所述导尘板 （13） 顶端与水 平方向的倾 斜角度为十五度， 且导尘板 （13） 的数量 为两个。 3.根据权利要求1所述的蚀刻机粉末收集装置， 其特征在于： 所述刮板 （12） 底端紧贴防 尘网 （11） 的顶端， 且刮板 （12） 关于收集箱 （14） 的竖向中轴线对称分布。 4.根据权利要求1所述的蚀刻机粉末收集装置， 其特征在于： 所述收集箱 （14） 的一侧开 设有预留槽 （20） ， 且预留槽 （20） 两侧的收集箱 （14） 侧壁开设有滑槽 （23） ， 所述滑槽 （23） 的 内壁固定连接有安装弹簧 （19） ， 且安装弹簧 （19） 的一端固定连接有滑块 （22） ， 所述滑块 （22） 一侧固定连接有延伸至收集箱 （14） 外部的安装 杆 （21） ， 所述防尘网 （11） 一侧贯穿预留 槽 （20） 并延伸至收集箱 （14） 外部的安装板 （16） ， 且安装板 （16） 两端开设有与安装 杆 （21） 相 配合的安装孔 （18） ， 所述 安装板 （16） 的一侧固定连接有把手 （17） 。 5.根据权利要求4所述的蚀刻机粉末收集装置， 其特征在于： 所述安装杆 （21） 的形状为 倒L型， 且安装杆 （21） 与安装孔 （18） 的内部之间构成卡 合结构。 6.根据权利要求1所述的蚀刻机粉末收集装置， 其特征在于： 所述收集箱 （14） 内侧壁的 下端固定连接有导污 板 （4） ， 且导污 板 （4） 横截面的形状为 三角型。 7.根据权利要求1所述的蚀刻机粉末收集装置， 其特征在于： 所述落灰口 （10） 的形状为 圆台型， 且落灰口 （10） 底端横截面的面积小于集尘箱 （7） 顶端开口横截面的面积。 8.根据权利要求1所述的蚀刻机粉末收集装置， 其特征在于： 所述集污盘 （9） 底端的两 侧转动连接有滚轮 （8） ， 且收集箱 （14） 内底壁两侧开设有与滚轮 （8） 相配合的滑动槽 （6） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217646039 U 2蚀刻机粉末收集装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及蚀刻机领域， 具体为蚀刻机粉末收集装置 。 背景技术 [0002]随着社会的发展， 我国科技水平得以飞速提升， 现如 今在很多行业中， 均 会使用蚀 刻机来对相应工件的蚀刻作业， 而其蚀刻机在工作过程中会产生废屑等粉末， 因此需要相 应的粉末收集装置来进行收集处 理。 [0003]现有的蚀刻机粉末收集装置在使用时不便喷淋降尘， 粉末收集后， 其较为蓬松， 导 致在装置受外力或取出集尘箱时， 粉末易受外力而扬起， 导致工作人员的不适， 且会一定程 度上污染装置的周边环境。 实用新型内容 [0004]（一） 解决的技 术问题 [0005]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了蚀刻机粉末收集装置， 具备喷淋降尘等 优点， 解决了上述背景技 术中的问题。 [0006]（二） 技术方案 [0007]为实现上述调节 喷管高度的目的， 本实用新型提供如下技术方案： 蚀刻机粉末收 集装置， 包括收集箱， 所述收集箱的内底壁活动连接有集污盘， 所述集污盘的内底壁固定连 接有集尘箱， 所述集尘箱的顶端活动连接有防尘网， 所述防尘网的中间位置处开设有落灰 口， 所述收集箱两侧的下端固定连接有负压风机， 所述收集箱一侧的上端固定连接有进尘 管。 [0008]所述收集箱的内顶壁固定连接有喷淋管， 所述喷淋管的底端固定连接有雾化喷 头， 所述收集箱的内侧壁固定连接有导尘板， 所述收集箱的两侧固定连接有气动伸缩杆， 所 述气动伸缩杆输出端延伸至收集箱的内部并固定连接有刮板， 通过外部设备将水输送至喷 淋管的内部， 并通过雾化喷头将水进 行雾化喷出， 使 得收集箱内部的粉尘进行喷淋沉降， 使 得泥球掉落至防尘网顶端， 或通过落灰 口掉落至集尘箱的内部存储， 同时可定期启动气动 伸缩杆带动刮板移动， 进而将防尘网顶端的泥球推动， 并由落灰口掉落至集尘箱内部， 进而 通过喷淋雾化可使得粉尘凝结， 避免收集的粉尘过于蓬松， 导 致后续取 出的扬起。 [0009]优选的， 所述导尘板顶端与水平方向的倾斜角度为十五度， 且导尘板 的数量为两 个， 减少收集箱内部的粉末残留在导尘板的顶端， 提高收集效果。 [0010]优选的， 所述刮板底端紧贴防尘网的顶端， 且刮板关于收集箱的竖向中轴线对称 分布， 便于将防尘网顶端凝结的粉末泥球快速推向落灰口并掉 落至集尘箱内部 。 [0011]优选的， 所述收集箱的一侧开设有预留槽， 且预留槽两侧的收集箱侧壁开设有滑 槽， 所述滑槽的内壁固定连接有安装弹簧， 且安装弹簧的一端固定连接有滑块， 所述滑块一 侧固定连接有延伸至收集箱外部的安装杆， 所述防尘 网一侧贯穿预留槽并延伸至收集箱外 部的安装板， 且安装板两端开设有与安装杆相 配合的安装孔， 所述安装板的一侧固定连接说　明　书 1/4 页 3 CN 217646039 U 3