(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221746090.5 (22)申请日 2022.07.08 (73)专利权人 星烁 （苏州） 电子科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市相城区渭塘镇 爱格豪路35号海美国际(苏州)智造研 发社区1号楼二层 (72)发明人 张帅　 (74)专利代理 机构 苏州源禾科达知识产权代理 事务所(普通 合伙) 32638 专利代理师 刘艳春 (51)Int.Cl. B01D 45/06(2006.01) B01D 53/04(2006.01) F28D 7/16(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于干式尾气处理设备的降温除尘结 构 (57)摘要 本实用新型属于尾气处理设备技术领域， 涉 及一种用于干式尾气处理设备的降温除尘结构， 包括水冷换热部和位于水冷换热部下方的灰尘 清理腔， 灰尘清理腔具有可打开的清灰口， 灰尘 清理腔的侧壁上设有出气口， 出气口的内侧设有 挡板组件， 挡板组件包括面向出气口内侧的下挡 板和位于 下挡板上方的上挡板， 上挡板具有一个 下弯至低于下挡板顶边的立面， 下挡板位于立面 与出气口之间， 从而在灰尘清理腔与出气口之间 形成一个往复转折的通道。 本降温除尘结构能够 让在气体离开出气口前受到减速， 灰尘颗粒会掉 落于灰尘清理腔内， 因此不会再被气流裹挟导致 堵塞吸收塔。 本实用新型结构紧凑， 集尘时不会 产生很大的噪音。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217287546 U 2022.08.26 CN 217287546 U 1.一种用于干式尾气处理设备的降温除尘结构， 包括水冷换热部 （1） 和位于所述水冷 换热部 （1） 下方的灰尘清理腔 （2） ， 所述灰尘清理腔 （2） 具有可打开的清灰口 （21） ， 所述灰尘 清理腔 （2） 的侧壁上设有出气口 （22） ， 其特征在于： 所述出气 口 （22） 的内侧设有挡板组件 （3） ， 所述挡板组件 （3） 包括面向所述出气口 （22） 内侧的下挡板 （31） 和位于所述下挡板 （31） 上方的上挡板 （32） ， 所述上挡板 （32） 具有一个下弯至低于所述下挡板 （31） 顶边的立面 （321） ， 所述下挡板 （31） 位于所述立面 （321） 与所述出气口 （22） 之间， 从而在所述灰尘清理 腔 （2） 与所述出气口 （2 2） 之间形成一个往复转 折的通道。 2.根据权利要求1所述的用于干 式尾气处理设备的降温除尘结构， 其特征在于： 所述下 挡板 （31） 与所述灰尘清理腔 （2） 的底面之间连接有下加强板 （31 1） 。 3.根据权利要求1所述的用于干 式尾气处理设备的降温除尘结构， 其特征在于： 所述上 挡板 （32） 的转角内侧设有上加强板 （32 2） 。 4.根据权利要求1所述的用于干 式尾气处理设备的降温除尘结构， 其特征在于： 所述水 冷换热部 （1） 包括外壳 （11） 和在所述外壳 （11） 内设置的若干通气列管 （12） ， 所述外壳 （11） 上设有进水口 （111） 和出水口 （112） ， 所述通气列管 （12） 的内外侧互不连通， 所述通气列管 （12） 的下口连通所述灰尘清理腔 （2） 。 5.根据权利要求4所述的用于干 式尾气处理设备的降温除尘结构， 其特征在于： 所述通 气列管 （12） 均竖直设置 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217287546 U 2一种用于干式尾气处理设 备的降温除尘结构 技术领域 [0001]本实用新型涉及尾气处理设备技术领域， 特别涉及一种用于干式尾气处理设备的 降温除尘结构。 背景技术 [0002]半导体、 太阳能、 液晶面板、 LED等行业的工厂在生产制造过程中会使用到很多种 类的电子气体， 这些气体中大多都是有毒有害的危险气体， 可能具有腐蚀性或易燃易爆性 等。 这些有毒有害的气体在生产工艺过程中有些会被利用到， 还有一些残余的气体需要处 理后排放。 因排放的气体也都是高危险气体， 故需要在车间内靠近主工艺设备 的地方及时 处理， 以最大限度的降低安全风险。 现在常见的气体处理设备分为干式吸附式、 水洗式、 电 加热水洗式、 等离子水洗式等， 尤其是最近几年随着芯片和太阳能电池制造中工艺的升级， 等离子式尾气处 理设备应用越来越 普及。 [0003]干式吸附式设备一般用来对尾气进行加热分解， 然后再经过吸附塔吸收分解后的 特定成分， 使处理完后的气 体达到排放标准。 因为加热会导致分解气 体含有高热量， 所以在 进行吸附以前要进行水冷， 在这个过程中分解气体中的灰尘颗粒容易被气流裹挟进入吸附 塔， 使吸附塔有堵塞风险。 中 国专利CN202598539U采用的是加水冷旋风集尘器来进行分离， 但是这种方式旋风集尘器的体积很大， 而且存在很大 的噪音， 不适合小型 的干式尾气处理 设备使用。 [0004]因此有必要需要提供一种新的降温除尘结构来 解决以上问题。 发明内容 [0005]本实用新型的主要目的在于提供一种用于干式尾气处理设备的降温除尘结构， 能 够使水冷后的分解气体在到达灰尘清理腔后减速， 使灰尘颗粒掉落于灰尘清理腔 内， 避免 了灰尘堵塞吸附塔。 [0006]本实用新型通过如下技术方案实现上述目的： 一种用于干式尾气处理设备的降温 除尘结构， 包括水冷换热部和位于所述水冷换热部下方的灰尘清理腔， 所述灰尘清理腔具 有可打开的清灰 口， 所述灰尘清理腔的侧 壁上设有出气口， 所述出气口的内侧设有挡板组 件， 所述挡板组件包括面向所述出气口内侧的下挡板和位于所述下挡板上方 的上挡板， 所 述上挡板具有一个下弯至低于所述下挡板顶边的立面， 从而在所述灰尘清理腔与所述出气 口之间形成一个往复转 折的通道。 [0007]具体的， 所述下挡板与所述灰尘清理腔的底面之间连接有下加强板 。 [0008]具体的， 所述上挡板的转角内侧设有上加强板 。 [0009]具体的， 所述水冷换热部包括外壳和在所述外壳内设置 的若干通气列管， 所述外 壳上设有进水 口和出水 口， 所述通气列管 的内外侧互不连通， 所述通气列管 的下口连通所 述灰尘清理腔。 [0010]进一步的， 所述 通气列管均竖直设置 。说　明　书 1/3 页 3 CN 217287546 U 3