(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221542457.1 (22)申请日 2022.06.20 (73)专利权人 山东云升新材 料有限公司 地址 261000 山东省潍坊市昌乐县乔官镇 朱孔路与省道 223交叉口东10 0米 (72)发明人 梁云江　 (74)专利代理 机构 北京博识智 信专利代理事务 所(普通合伙) 16067 专利代理师 魏文密 (51)Int.Cl. B01F 27/90(2022.01) B01F 27/2322(2022.01) B01F 35/71(2022.01) B01F 35/75(2022.01) B01F 35/93(2022.01) (54)实用新型名称 一种光阻剂用调配装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种光阻剂用调配装置， 包括调配罐、 可拆卸安装于调配罐顶部的罐盖， 所述调配罐包括上部罐体、 下部罐体以及设置于 下部罐体底部的出料管道， 所述下部罐体为锥型 罐体， 所述出料管道的出口端设置出料阀门； 本 申请通过设置主料加料组件及辅料加料组件， 使 得主料或占比较多的原料从主料加料组件进入 调配罐， 辅料或占比较少的原料从辅料加料组件 进入调配罐， 辅料经辅料进料仓、 辅料进料管进 入U型加料管， 由U型加料管底部分布的多个进料 头进入调配罐内， 能够使辅料加入的部位比较分 散， 有利于后续搅拌混合； 本申请通过设置主搅 拌结构及 多个副搅拌机构， 能够在调配罐各方位 进行搅拌， 有利于搅拌均匀。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 217594406 U 2022.10.18 CN 217594406 U 1.一种光阻剂用调配装置， 其特征在于， 包括调配罐、 可拆卸安装于调配罐顶部的罐 盖， 所述调配罐包括上部罐体、 下部罐体以及设置于下部罐体底部的出料管道， 所述下部罐 体为锥型罐体， 所述出料管道的出口端设置出料阀门； 所述调配罐内设置搅拌组件， 所述罐 盖顶部设置与搅拌组件连接的驱动组件， 所述罐盖上设置穿入调配罐内的主料加料组件、 辅料加料组件； 所述调配罐外 设置加热层， 所述加热层内设置加热管， 所述调配罐内由上至 下设置数个温度传感器， 所述加热层外设置与加热管、 温度传感器及驱动组件连接的控制 器。 2.根据权利要求1所述的一种光阻剂用调配装置， 其特征在于， 所述搅拌组件包括设置 于调配罐中心的主搅拌结构、 周向排列于主搅拌结构外的多个副搅拌结构； 所述主搅拌结 构包括转动设置于罐盖上的主搅拌轴， 所述主搅拌轴位于调配罐内的部分由上至下设置数 层主搅拌叶， 所述副搅拌结构包括转动设置于罐盖上 的副搅拌轴， 所述副搅拌轴位于调配 罐内的部分由上至下设置数层副搅拌叶， 所述副搅拌叶与主搅拌叶交错设置， 所述主搅拌 轴、 副搅拌轴伸出罐盖后与驱动组件传动连接， 最上层 主搅拌叶、 副搅拌叶与罐盖内侧面之 间设置空间， 所述辅料加料组件设置 于上述空间内。 3.根据权利要求2所述的一种光阻剂用调配装置， 其特征在于， 所述驱动组件包括驱动 主搅拌轴的驱动电机， 以及设置于主搅拌轴 上的数个主传动轮， 所述副搅拌轴上设置与一 个主传动轮对应的副传动轮， 所述主传动轮与副传动轮之间通过同步带传动连接， 所述驱 动组件外设置驱动组件外壳。 4.根据权利要求2所述的一种光阻剂用调配装置， 其特征在于， 所述辅料加料组件包括 与罐盖底面平行设置的U 型加料管， 所述U 型加料管一端通过辅料进 料管穿出罐盖与辅料进 料仓连接， 所述U型加料 管底部设置数个进料头 。 5.根据权利要求3所述的一种光阻剂用调配装置， 其特征在于， 所述辅料加料组件的数 量为多个， 所述U型加料 管相对并错 开设置。 6.根据权利要求2所述的一种光阻剂用调配装置， 其特征在于， 所述主料加料组件包括 贯穿罐盖的主料加料 管， 所述主料加料 管顶部设置主料加料仓 。 7.根据权利要求2所述的一种光阻剂用调配装置， 其特征在于， 所述主搅拌轴底部伸入 下部罐体， 所述主搅拌叶设置于上部罐体， 所述主搅拌轴位于下部罐体的部分上设置螺旋 输料叶。 8.根据权利要求1所述的一种光阻剂用调配装置， 其特征在于， 所述下部罐体一侧设置 样品出料管道， 所述样品出 料管道上设置样品阀门。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217594406 U 2一种光阻剂用调配装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及光阻制备装置领域， 具体涉及一种光阻剂用调配装置 。 背景技术 [0002]光阻， 亦称为光阻剂， 是一个用在许多工业制程上的光敏材料； 像是光刻技术， 可 以在材料表 面刻上一个图案的被覆层； 光阻通常使用在紫外光波 段或更小的波长(小于400 纳米)； 例如DNQ在300纳米到450纳米间有很强的吸收； 目前， 在光阻剂在生产过程中， 调 配 混合的步骤尤为重要， 但是现有的混合装置搅拌不均匀， 液体进入位置较为集中， 导致混合 效率较慢。 实用新型内容 [0003]为解决上述技术问题， 本实用新型提供的技术方案为： 一种光阻剂用调配装置， 包 括调配罐、 可拆卸安装于调配罐顶部的罐盖， 所述调配罐包括上部罐体、 下部罐体以及设置 于下部罐体底部的出料管道， 所述下部罐体为锥型罐体， 所述出料管道的出 口端设置出料 阀门； 所述调配罐内设置搅拌组件， 所述罐盖顶部 设置与搅拌组件连接的驱动组件， 所述罐 盖上设置穿入调配罐内的主 料加料组件、 辅料加料组件； 所述调配罐外 设置加热层， 所述加 热层内设置加热管， 所述调配罐内由上至下设置数个温度传感器， 所述加热层外设置与加 热管、 温度传感器及驱动组件连接的控制器。 [0004]进一步地， 所述搅拌组件包括设置于调配罐中心的主搅拌结构、 周向排列于主搅 拌结构外的多个副搅拌结构； 所述主搅拌结构包括转动设置于罐盖上 的主搅拌轴， 所述主 搅拌轴位于调配罐内的部分由上至下设置数层主搅拌叶， 所述副搅拌结构包括转动设置于 罐盖上的副搅拌轴， 所述副搅拌轴位于调配罐内的部分由上至下设置数层副搅拌叶， 所述 副搅拌叶与主搅拌叶交错设置， 所述主搅拌轴、 副搅拌轴伸出罐盖后与驱动组件传动连接， 最上层主搅拌叶、 副搅拌叶与罐盖内侧 面之间设置空间， 所述辅料加料组件设置于上述空 间内。 [0005]进一步地， 所述驱动组件包括驱动主搅拌轴的驱动电机， 以及设置于主搅拌轴上 的数个主传动轮， 所述副搅拌轴 上设置与一个主传动轮对应的副传动轮， 所述主传动轮与 副传动轮之间通过同步带传动连接， 所述驱动组件外设置驱动组件外壳。 [0006]进一步地， 所述辅料加料组件包括与罐盖底面平行设置的U型加料管， 所述U型加 料管一端通过辅料进料管穿出罐盖与辅料进料仓连接， 所述U型加料管底部设置数个进料 头。 [0007]进一步地， 所述辅料加料组件的数量 为多个， 所述U型加料 管相对并错 开设置。 [0008]进一步地， 所述主料加料组件包括贯穿罐盖 的主料加料管， 所述主料加料管顶部 设置主料加料仓 。 [0009]进一步地， 所述主搅拌轴底部伸入下部罐体， 所述主搅拌叶设置于上部罐体， 所述 主搅拌轴位于下部罐体的部分上设置 螺旋输料叶。说　明　书 1/4 页 3 CN 217594406 U 3