ICS 77.150.30 H 62 中华人民共和国国家标准 GB/T39158—2020 平面显示用高纯铜旋转管靶 High purity copper rotatable tube target for flat panel display 2021-10-01实施 2020-11-19发布 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T39158—2020 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国有色金属工业协会提出 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有 限公司、沈阳有色金属加工有限公司。 本标准主要起草人：曾浩、罗俊锋、韩知为、贺昕、董艳霞、陈明、熊晓东、曹欢欢、万小勇、林若虚 袁海军、刘晓、张健、郭姗姗。 SC 1 GB/T391582020 平面显示用高纯铜旋转管靶 1范围 本标准规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标 志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同）内容。 本标准适用于平面显示用各种规格的4N、4N5、5N高纯铜旋转管靶产品 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T1804一2000一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差 GBT5121.27铜及铜合金化学分析方法第27部分：电感耦合等离子体原子发射光谱法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 YS/T347铜及铜合金平均晶粒度测定方法 YS/T 922 高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 YS/T10002014铜及铜合金管材超声波纵波探伤方法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 旋转管靶 rotatable tube target 种平板显示领域用的管状靶材。 注：主要用于电子薄膜沉积。 3.2 表面粗糙度 surfaceroughness Ra 加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。轮廓的平均算术偏差值Ra，即在一定测量长度1 范围内，轮廓上各点至中线距离绝对值的平均算术偏差。用下式表示： yldr 4分类 产品的牌号按纯度分RCu-4N、RCu-4N5、RCu-5N三个牌号。产品的规格可分为$155×438、155X 888、155×1091、Φ155×888、Φ167×2490。不同牌号对应的规格见表1。 示例：铜含量为99.995%的旋转铜靶，表示为RCu-4N5 1 GB/T39158—2020 表 1 牌号与规格 规格 牌号 mm RCu-4N $155X438、$155×888 RCu-4N5 $155×1091$155×888 RCu-5N $167×2490 5 技术要求 5.1 化学成分 平面显示用高纯铜旋转管靶的化学成分要求应符合表2规定。 表 2 化学成分 牌号 RCu-4N RCu-4N5 RCu-5N 铜含量（质量分数）/%，不小于 99.99 $6666 666°66 Ag 25 2 一 A1 一 0.5 As 20 5 0.1 Bi 20 1 0.2 Ca 0.5 Cd I 0.1 Co 0.3 一 Cr 一 一 0.1 F 1 1 一 杂质元素含量 Fe 30 10 0.5 （质量分数）/10-4%， Mn 10 0.5 0.1 不大于 IN 10 10 0.5 P 3 3 0.1 Pb 10 5 0.05 Sb 10 4 0.1 Se 3 0.1 Is 一 一 0.5 Sn 10 2 0.1 Te 2 0.1 Zn 10 1 0.1 2